Публікації

Показано дописи з міткою "EUV radiation sources"

Лінійні прискорювачі - глухий кут літографії ASML

Зображення
    В кінцевому підсумку експлуатаційні витрати зводяться до споживання електроенергії. Стівен Бенсон , старший науковий співробітник Національного прискорювального центру імені Томаса Джефферсона у Вірджинії, який нещодавно вийшов на пенсію, підрахував, що ККД усієї системи EUV-LPP може становити менше 0,1 відсотка. За його словами, лазери на вільних електронах , подібні до того, який розробляє KEK, можуть бути в 10–100 разів ефективнішими. Лінійний прискорювач з рекуперацією енергії KEK — це відома японська організація з дослідження високоенергетичних прискорювачів .  Наразі вчені проводять модернізацію та експерименти на суперколайдері SuperKEKB , розробляють новітні системи лінійних прискорювачів, надпровідні магніти, а також детектори для пошуку нової фізики за межами Стандартної моделі В організації KEK діють протонний прискорювальний комплекс J-PARC ( англ. Japan Proton Accelerator Research Complex), електронний прискорювач ATF ( англ. Accelera...

Будова лазера на вільних електронах FEL

Зображення
     Експериментальний компактний лінійний прискорювач із рекуперацією енергії в KEK використовує більшу частину енергії електронів на зворотному шляху для прискорення нової групи електронів.       Літографія на базі лазерів на вільних електронах (FEL, Free Electron Laser) — це перспективна альтернатива існуючій технології екстремального ультрафіолету (EUV), покликана подолати фізичні обмеження у виробництві мікросхем за стандартами менше 2–3 нанометрів . В основі цього підходу лежить використання прискорювачів частинок замість традиційного випаровування крапель олова лазером. Сучасний метод EUV (від компанії ASML) працює за схемою LPP (Laser-Produced Plasma) : потужний CO₂-лазер вражає краплі рідкого олова 50 тисяч разів на секунду, створюючи плазму, яка випромінює потрібне світло довжиною хвилі 13,5 нм. Цей метод має жорстке обмеження потужності (близько 250–500 Вт), утворює багато забруднень (пари олова) і витрачає колосальну кількість енергії. F...

Установка для запуску в роботу лазера, ККД якого 90%

Зображення
  Електричний струм — це впорядкований вихровий рух електрино навколо провідника, у якому траєкторія кожного електрино представлена гвинтовою лінією із входом у тіло провідника або без входу в нього. Встановлено раніше не відому структуру лазерного променя, що формується за допомогою накачування джерелами світла, що складається з вільного світлового поля негативного знака, навколо якого і вздовж нього вихровим потоком рухаються електрино, організовані в вихрові пакети, абсолютно аналогічно структурі електричного струму по провіднику О тже електричний с трум і випромінювання лазера повністю споріднені потоки. Залишається об’єднати ці потоки. Тобто, потрібне малопотужне лазерне випромінювання для утворення I ) осьового електронного поля вздовж якого направити потужне II ) осьове електронне поле постійного електричного струму. Абсолютно споріднені потоки об’єднаються, утворюючи потік електрино потужністю електричного струму II). ККД процесу об’єднання ~9...

Лазер, ККД якого 90%

Зображення
       Електричний струм — це впорядкований вихровий рух електрино навколо провідника, у якому траєкторія кожного електрино представлена гвинтовою лінією із входом у тіло провідника або без входу в нього. Провідник із струмом — це складна електродинамічна система, в якій роль матеріального носія струму та магнітного поля одночасно виконує електрино, заряд якого 1, 9876643∙10 ⁻²⁷ Кл є елементарним квантом електрики. Гвинтова лінія траєкторії зі змінним радіусом і кроком має вигляд спіралі, що періодично спускається до провідника і піднімається від нього. Її проекція на площину, перпендикулярну осі провідника, є незамкнутою спіральною лінією. Сукупність усіх траєкторій утворює замкнуте коло, радіус якого від поверхні провідника є радіусом вихору циліндричної форми. Цілком очевидно, що якщо позитивно заряджені електрони здійснюють орбітальний рух навколо провідника, то це можливо лише в тому випадку, коли атоми провідника мають надлишковий негативний заряд, що зу...