Будова лазера на вільних електронах FEL
Експериментальний компактний лінійний прискорювач із рекуперацією енергії в KEK використовує більшу частину енергії електронів на зворотному шляху для прискорення нової групи електронів. Літографія на базі лазерів на вільних електронах (FEL, Free Electron Laser) — це перспективна альтернатива існуючій технології екстремального ультрафіолету (EUV), покликана подолати фізичні обмеження у виробництві мікросхем за стандартами менше 2–3 нанометрів . В основі цього підходу лежить використання прискорювачів частинок замість традиційного випаровування крапель олова лазером. Сучасний метод EUV (від компанії ASML) працює за схемою LPP (Laser-Produced Plasma) : потужний CO₂-лазер вражає краплі рідкого олова 50 тисяч разів на секунду, створюючи плазму, яка випромінює потрібне світло довжиною хвилі 13,5 нм. Цей метод має жорстке обмеження потужності (близько 250–500 Вт), утворює багато забруднень (пари олова) і витрачає колосальну кількість енергії. F...