Імерсійна літографія
Імерсійна літографія — це метод виробництва мікросхем, у якому проміжок між лінзою та кремнієвою пластиною заповнюється спеціальною рідиною (зазвичай ультрачистою водою) для підвищення роздільної здатності. Як працює технологія . Суть методу: Завдяки тому, що показник заломлення води (n ≈ 1.44 для аргон-фторидних лазерів з довжиною хвилі 193 нм) вищий за повітря, світло менше розсіюється. Інерційна літографія: треба клікнути g