Імерсійна літографія
Імерсійна літографія — це метод виробництва мікросхем, у якому проміжок між лінзою та кремнієвою пластиною заповнюється спеціальною рідиною (зазвичай ультрачистою водою) для підвищення роздільної здатності. Як працює технологія. Суть методу: Завдяки тому, що показник заломлення води (n ≈ 1.44 для аргон-фторидних лазерів з довжиною хвилі 193 нм) вищий за повітря, світло менше розсіюється.
Інерційна літографія: треба клікнути
g

Коментарі
Дописати коментар