Імерсійна літографія

   


 


    Імерсійна літографія
— це метод виробництва мікросхем, у якому проміжок між лінзою та кремнієвою пластиною заповнюється спеціальною рідиною (зазвичай ультрачистою водою) для підвищення роздільної здатності. Як працює технологія. Суть методу: Завдяки тому, що показник заломлення води (n ≈ 1.44 для аргон-фторидних лазерів з довжиною хвилі 193 нм) вищий за повітря, світло менше розсіюється. 

Інерційна літографія: треба клікнути



g

Коментарі

Популярні дописи з цього блогу

Безпаливний автотермічний режим згоряння повітря в ДВЗ

Вночі нас гріє друге Сонце з галактики М87

Кіпр, спостерігаємо за поведінкою Землі.